电光与控制, 2016, 23 (8): 1, 网络出版: 2021-01-26
压电陶瓷装置微位移的光学测量与控制技术
Optical Measurement and Control of Micro Displacement for A Piezoelectric Device
基本信息
| DOI: | 10.3969/j.issn.1671-637x.2016.08.001 |
| 中图分类号: | TN249 |
| 栏目: | 专家论坛 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金(61377015)、 国家重大仪器专项基金(2013YQ150829) |
| 收稿日期: | -- |
| 修改稿日期: | -- |
| 网络出版日期: | 2021-01-26 |
| 通讯作者: | |
| 备注: | -- |
高志山, 王若言, 成晓强. 压电陶瓷装置微位移的光学测量与控制技术[J]. 电光与控制, 2016, 23(8): 1. GAO Zhi-shan, WANG Ruo-yan, CHENG Xiao-qiang. Optical Measurement and Control of Micro Displacement for A Piezoelectric Device[J]. Electronics Optics & Control, 2016, 23(8): 1.
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