激光与光电子学进展, 2015, 52 (6): 062201, 网络出版: 2015-06-03
极紫外辐照损伤测试系统光学仿真研究
Optical Simulation Research on Damage Testing System of Extreme Ultraviolet Radiation
基本信息
| DOI: | 10.3788/lop52.062201 |
| 中图分类号: | TN23;O439 |
| 栏目: | 光学设计与制造 |
| 项目基金: | 国家科技重大专项(2012ZX02702001) |
| 收稿日期: | 2015-01-06 |
| 修改稿日期: | 2015-01-15 |
| 网络出版日期: | 2015-06-03 |
| 通讯作者: | 陈进新 (ashion@aoe.ac.cn) |
| 备注: | -- |
陈进新, 吴晓斌, 王宇. 极紫外辐照损伤测试系统光学仿真研究[J]. 激光与光电子学进展, 2015, 52(6): 062201. Chen Jinxin, Wu Xiaobin, Wang Yu. Optical Simulation Research on Damage Testing System of Extreme Ultraviolet Radiation[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2015, 52(6): 062201.
PDF全文
