无导轨高精度位移平台的结构设计

高云国; 张倩; 史亚莉; 姜伟伟; 彭岩

光学精密工程, 2009, 17 (9): 2199, 网络出版: 2009-10-28

无导轨高精度位移平台的结构设计

Structure design of precise displacement platform without guiding apparatus

高云国 ^1,*张倩 ^1,2史亚莉 ^1,2姜伟伟 ^1,2彭岩 ^1,2

作者单位

¹ 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春 130033

² 中国科学院研究生院,北京 100039

引用该论文

高云国, 张倩, 史亚莉, 姜伟伟, 彭岩. 无导轨高精度位移平台的结构设计[J]. 光学精密工程, 2009, 17(9): 2199.

GAO Yun-guo, ZHANG Qian, SHI Ya-li, JIANG Wei-wei, PENG Yan. Structure design of precise displacement platform without guiding apparatus[J]. Optics and Precision Engineering, 2009, 17(9): 2199.

引用列表

1、星敏感器测试用微调整机构设计光子学报, 2017, 46 (10): 1012004

2、纳米级精度的竖直液体静压滑台设计光学精密工程, 2017, 25 (8): 2121

3、高精度无导轨位移平台误差分析光学精密工程, 2012, 20 (2): 313

高云国, 张倩, 史亚莉, 姜伟伟, 彭岩. 无导轨高精度位移平台的结构设计[J]. 光学精密工程, 2009, 17(9): 2199. GAO Yun-guo, ZHANG Qian, SHI Ya-li, JIANG Wei-wei, PENG Yan. Structure design of precise displacement platform without guiding apparatus[J]. Optics and Precision Engineering, 2009, 17(9): 2199.

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