无导轨高精度位移平台的结构设计 | 光学精密工程 -- 中国光学期刊网

光学精密工程, 2009, 17 (9): 2199, 网络出版: 2009-10-28

无导轨高精度位移平台的结构设计

Structure design of precise displacement platform without guiding apparatus

高云国 ^1,*张倩 ^1,2史亚莉 ^1,2姜伟伟 ^1,2彭岩 ^1,2

作者单位

¹ 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春 130033

² 中国科学院研究生院,北京 100039

导轨位移平台平行四边形比例杆驱动结构 guide apparatus displacement platform parallelogram proportional lever drive structure

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