节距自适应三维目标光栅测量方法
An Adaptive Grating Pitch Measurement Method
基本信息
| DOI: | 10.13756/j.gtxyj.2017.03.009 |
| 中图分类号: | TN247 |
| 栏目: | 光电器件研究与应用 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金资助项目(61601237)、 江苏省自然科学基金资助项目(KB20160901) |
| 收稿日期: | 2016-10-29 |
| 修改稿日期: | -- |
| 网络出版日期: | 2017-07-07 |
| 通讯作者: | 陈建飞 (chenjf@njupt.edu.cn) |
| 备注: | -- |
孙奎, 张胜, 陈亚群, 陈建飞. 节距自适应三维目标光栅测量方法[J]. 光通信研究, 2017, 43(3): 33. SUN Kui, ZHANG Sheng, CHEN Ya-qun, CHEN Jian-fei. An Adaptive Grating Pitch Measurement Method[J]. Study On Optical Communications, 2017, 43(3): 33.
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