Frontiers of Optoelectronics, 2012, 5 (1): 73, 网络出版: 2012-09-10  

Thermal analysis for fast thermal-response Si waveguide wrapped by SiN

Thermal analysis for fast thermal-response Si waveguide wrapped by SiN
作者单位
Optoelectronic System Laboratory, Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100083, China
基本信息
DOI: 10.1007/s12200-012-0187-8
中图分类号: --
栏目:
项目基金: This work was supported by the National Natural Science Foundation of China (Grant No. 60977037), and the National High Technology Research and Development Program of China (No.2009AA03Z416).
收稿日期: 2011-08-31
修改稿日期: --
网络出版日期: 2012-09-10
通讯作者: Lin YANG (lyang@semi.ac.cn)
备注: --

Rui MIN, Ruiqiang JI, Lin YANG. Thermal analysis for fast thermal-response Si waveguide wrapped by SiN[J]. Frontiers of Optoelectronics, 2012, 5(1): 73. Rui MIN, Ruiqiang JI, Lin YANG. Thermal analysis for fast thermal-response Si waveguide wrapped by SiN[J]. Frontiers of Optoelectronics, 2012, 5(1): 73.

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