中国激光, 1992, 19 (5): 357, 网络出版: 2007-09-11
准分子激光诱导沉积锰和钨薄膜
Excimer laser-induced deposition of manganese and tungsten thin film
基本信息
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| 栏目: | 实验技术与元件 |
| 项目基金: | -- |
| 收稿日期: | 1990-10-09 |
| 修改稿日期: | -- |
| 网络出版日期: | 2007-09-11 |
| 通讯作者: | |
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徐捷, 吕新明, 楼祺洪. 准分子激光诱导沉积锰和钨薄膜[J]. 中国激光, 1992, 19(5): 357. 徐捷, 吕新明, 楼祺洪. Excimer laser-induced deposition of manganese and tungsten thin film[J]. Chinese Journal of Lasers, 1992, 19(5): 357.
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