光学学报, 2018, 38 (5): 0512002, 网络出版: 2018-07-10 复制并引用该论文  本文已被引 2 次  被引通知

图 & 表

图 1. 基于点源阵列的TWI系统

Fig. 1. TWI system based on point source array

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图 2. 点源发生器组成结构示意图

Fig. 2. Schematic of point source generator structure

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图 3. 光纤阵列型点源发生器组成结构示意图

Fig. 3. Schematic of point source generator structure based on fiber array

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图 4. 光纤出射光束间存在的光程差对测量结果的影响

Fig. 4. Influence of optical path difference between output light beams on detection result

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图 5. 相位差检测系统原理图

Fig. 5. Schematic of phase difference detection system

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图 6. 实验装置图

Fig. 6. Diagram of experimental setup

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图 7. 使用ZYGO干涉仪测量抛物面镜片的光路示意图

Fig. 7. Light path schematic for measurement of parabolic mirror using ZYGO interferometer

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图 8. (a) TWI系统测量抛物面镜片的面形偏差结果;(b) ZYGO干涉仪测量抛物面镜片的面形偏差结果

Fig. 8. (a) Surface deviation result of measurement of parabolic mirror using TWI system; (b) surface deviation result of measurement of parabolic mirror using ZYGO interferometer

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表 1光纤阵列中位置坐标为(-1,1)的光纤测量数据

Table1. Fiber measurement data at (-1,1) in fiber array

Wavelength /nm Refractive index u1 /mV u2 /mV u3 /mV Δφ /π Range of m λ1=450.0 n1=1.476 31.6 33.7 20.3 0.200 m1∈[3870.3,4001.5] λ2=532.0 n2=1.471 207.4 275.0 152.0 0.090 m2∈[3262.7,3373.3] λ3=632.8 n3=1.467 1700.0 2120.0 1360.0 0.085 m3

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表 2光纤阵列型点源发生器各光束相对于基准光束的光程差

Table2. Optical path difference of each beam in point source generator with fiber array relative to reference beam

Y /mm δ X=-1.0 mm X=-0.5 mm X=0 mm X=0.5 mm X=1.0 mm 1.0 2515.68λ3 -2889.66λ3 -1920.33λ3 1255.27λ3 660.93λ3 0.5 -2281.08λ3 1171.92λ3 -898.39λ3 2623.69λ3 2089.07λ3 0 1781.75λ3 2967.72λ3 0 -2495.67λ3 1469.12λ3 -0.5 -2125.04λ3 1498.45λ3 -2786.42λ3 -2391.14λ3 468.26λ3 -1.0 984.68λ3 2319.05λ3 -2610.70λ3 2416.76λ3 -1136.46λ3

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李小柳, 沈华, 李嘉, 朱雪妍, 姚德超, 路晴, 朱日宏. 倾斜波面干涉仪中光纤阵列型点源发生器的光程误差标定方法[J]. 光学学报, 2018, 38(5): 0512002. Xiaoliu Li, Hua Shen, Jia Li, Xueyan Zhu, Dechao Yao, Qing Lu, Rihong Zhu. Optical Path Difference Calibration Method of Optical Fiber Array Point Source Generator in Tilted-Wave-Interferometer[J]. Acta Optica Sinica, 2018, 38(5): 0512002.