平面面形绝对检验技术测量误差分析

徐洋; 唐锋; 王向朝; 徐静浩; 范李立; 程欣

doi:doi:10.3788/cjl201138.1008009

中国激光, 2011, 38 (10): 1008009, 网络出版: 2011-09-28

平面面形绝对检验技术测量误差分析

Measurement Error Analysis of Absolute Flatness Test

徐洋 ^1,2,*唐锋 ¹王向朝 ^1,2徐静浩 ¹范李立 ¹程欣 ¹

作者单位

¹ 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室，上海 201800

² 中国科学院研究生院，北京 100049

补充材料

徐洋, 唐锋, 王向朝, 徐静浩, 范李立, 程欣. 平面面形绝对检验技术测量误差分析[J]. 中国激光, 2011, 38(10): 1008009. 徐洋, 唐锋, 王向朝, 徐静浩, 范李立, 程欣. Measurement Error Analysis of Absolute Flatness Test[J]. Chinese Journal of Lasers, 2011, 38(10): 1008009.