激光与光电子学进展, 1981, 18 (10): 31, 网络出版: 2013-08-01
用于固态电子学的激光微观光化学
摘要
聚焦、超紫外(UV)激光束已被用于固体表面以产生微米尺度的化学过程。这些过程是以在气体-固体分界面附近的气体分子光致离解开始的。依照有活性的光致碎裂片是与固体作用或者被固体吸附，微观腐蚀或微观淀积分别得以出现。固体的表面性质和气相动力学都对这一过程的定域起一份作用。烷基金属和甲基卤化物已经被用作母体分子以分别产生淀积和腐蚀。聚焦的3毫瓦UV激光对于这两种过程有足够强度产生满意的反应速率。本文探究了这一小规模光化学对微电子学的几个应用。
Abstract
参考文献
阿尔芳. 用于固态电子学的激光微观光化学[J]. 激光与光电子学进展, 1981, 18(10): 31. 阿尔芳. [J]. Laser & Optoelectronics Progress, 1981, 18(10): 31.
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