激光与光电子学进展, 1988, 25 (8): 42, 网络出版: 2013-07-17
高精度高速无掩模激光电镀
摘要
三菱电机公司的生产技术研究所，借助激光电镀法用金进行图样宽100 μm以下、析出速度1 μm/s厚的髙 精度、髙速无掩模局部电镀获得成功。
Abstract
参考文献
张抚安. 高精度高速无掩模激光电镀[J]. 激光与光电子学进展, 1988, 25(8): 42. 张抚安. [J]. Laser & Optoelectronics Progress, 1988, 25(8): 42.
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