强激光与粒子束, 2019, 31 (2): 022002, 网络出版: 2019-04-02
轴向磁场下感应耦合放电模式转换的实验研究
Experimental investigation on mode transition of inductively coupled plasma discharge under axial magnetic field
感应耦合等离子体 轴向磁场 模式转换 阻抗分析 电子密度 inductively coupled plasma axial magnetic field mode transition impedance analysis electron density
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