光学学报, 2011, 31 (12): 1222005, 网络出版: 2011-11-21   

红外光谱仪多级微反射镜模拟分析及制作研究

Simulation and Fabracation of Multi-Micromirrors Used in Infrared Spectrometer
作者单位
1 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室, 吉林 长春 130033
2 中国科学院研究生院, 北京 100049
引用该论文

郑莹, 梁中翥, 梁静秋. 红外光谱仪多级微反射镜模拟分析及制作研究[J]. 光学学报, 2011, 31(12): 1222005.

Zheng Ying, Liang Zhongzhu, Liang Jingqiu. Simulation and Fabracation of Multi-Micromirrors Used in Infrared Spectrometer[J]. Acta Optica Sinica, 2011, 31(12): 1222005.

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