中国激光, 1975, 2 (2): 42, 网络出版: 2012-06-19
精密长度测量和微定位中的一种激光干涉仪
摘要
本文介绍的干涉仪具有体积小、易加工、抗振性能好、便于可逆计数等优点.不但可以用到高精度的测长机上,而且还可以用于线纹尺检验,精密尺度刻划中的微定位,以及精密丝杆检查等方面.
Abstract
参考文献
游江南. 精密长度测量和微定位中的一种激光干涉仪[J]. 中国激光, 1975, 2(2): 42. 游江南. [J]. Chinese Journal of Lasers, 1975, 2(2): 42.
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