基于双频光栅的微分干涉相衬方法

莘雪成; 张雨东; 李国俊; 王炯; 罗先刚

doi:doi:10.3969/j.issn.1003-501x.2011.06.013

光电工程, 2011, 38 (6): 78, 网络出版: 2011-07-01

基于双频光栅的微分干涉相衬方法

Differential Interference Contrast Method Based on Bi-frequency Grating

莘雪成 ^1,2,*张雨东 ¹李国俊 ¹王炯 ^1,2罗先刚 ¹

作者单位

¹ 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室, 成都 610209

² 中国科学院研究生院, 北京 100049

补充材料

莘雪成, 张雨东, 李国俊, 王炯, 罗先刚. 基于双频光栅的微分干涉相衬方法[J]. 光电工程, 2011, 38(6): 78. XIN Xue-cheng, ZHANG Yu-dong, LI Guo-jun, WANG Jiong, LUO Xian-gang. Differential Interference Contrast Method Based on Bi-frequency Grating[J]. Opto-Electronic Engineering, 2011, 38(6): 78.