用CO<sub>2</sub>激光器涂镀优质薄膜

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激光与光电子学进展, 1970, 7 (1): 39, 网络出版: 2013-08-28

用CO₂激光器涂镀优质薄膜

论文大纲

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作者单位

摘要

西德汉堡菲利浦中心实验室使用高功率、连续CO2激光器以真空涂镀法制成高质量薄膜。使用CO2激光器克服了过去使用红宝石激光器进行试验的某些困难。这些困难在于，在辐照时，熔融物或固态粒子易于逃逸。这一问题是通过控制焦点处CO2激光的能量密度来克服的。同时也发现，为了防止薄膜材料蒸发速率降低，必须缓慢而恒速地移动光束，遍及材料源的表面。

Abstract

参考文献

N/A. 用CO₂激光器涂镀优质薄膜[J]. 激光与光电子学进展, 1970, 7(1): 39. N/A. [J]. Laser & Optoelectronics Progress, 1970, 7(1): 39.