光栅刻划刀架系统的运行精度对光栅光谱性能的影响

杨超; 于海利; 冯树龙; 李晓天; 齐向东; 姜珊; 唐玉国

doi:doi:10.3788/ope.20142210.2674

光学精密工程, 2014, 22 (10): 2674, 网络出版: 2014-11-06

光栅刻划刀架系统的运行精度对光栅光谱性能的影响

Influence of running accuracy of ruling carriage system on grating spectrum performance

杨超 ^1,2,*于海利 ¹冯树龙 ¹李晓天 ¹齐向东 ¹姜珊 ^1,2唐玉国 ¹

作者单位

¹ 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春 130033

² 中国科学院大学北京 100049

图 & 表

杨超, 于海利, 冯树龙, 李晓天, 齐向东, 姜珊, 唐玉国. 光栅刻划刀架系统的运行精度对光栅光谱性能的影响[J]. 光学精密工程, 2014, 22(10): 2674. YANG Chao, YU Hai-li, FENG Shu-long, LI Xiao-tian, QI Xiang-dong, JIANG Shan, TANG Yu-guo. Influence of running accuracy of ruling carriage system on grating spectrum performance[J]. Optics and Precision Engineering, 2014, 22(10): 2674.