光学技术, 2014, 40 (6): 486, 网络出版: 2014-12-17   

浴法抛光中抛光粉粒径对去除效果影响的试验研究

Experimental study of the influence of slurry particle size on material removal consequent in bowl-feed polishing
作者单位
1 四川大学 电子信息学院, 四川 成都610064
2 中国科学院光电技术研究所, 四川 成都 610209
引用该论文

张杨, 徐清兰, 陈梅, 张蓉竹. 浴法抛光中抛光粉粒径对去除效果影响的试验研究[J]. 光学技术, 2014, 40(6): 486.

ZHANG Yang, XU Qinglan, CHEN Mei, ZHANG Rongzhu. Experimental study of the influence of slurry particle size on material removal consequent in bowl-feed polishing[J]. Optical Technique, 2014, 40(6): 486.

参考文献

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