浴法抛光中抛光粉粒径对去除效果影响的试验研究

张杨; 徐清兰; 陈梅; 张蓉竹

光学技术, 2014, 40 (6): 486, 网络出版: 2014-12-17

浴法抛光中抛光粉粒径对去除效果影响的试验研究

Experimental study of the influence of slurry particle size on material removal consequent in bowl-feed polishing

张杨 ^1,*徐清兰 ²陈梅 ¹张蓉竹 ¹

作者单位

¹ 四川大学电子信息学院, 四川成都610064

² 中国科学院光电技术研究所, 四川成都 610209

补充材料

张杨, 徐清兰, 陈梅, 张蓉竹. 浴法抛光中抛光粉粒径对去除效果影响的试验研究[J]. 光学技术, 2014, 40(6): 486. ZHANG Yang, XU Qinglan, CHEN Mei, ZHANG Rongzhu. Experimental study of the influence of slurry particle size on material removal consequent in bowl-feed polishing[J]. Optical Technique, 2014, 40(6): 486.