中国激光, 2007, 34 (4): 530, 网络出版: 2007-04-25
超分辨近场结构中二元共晶合金掩膜的工作机制
Working Mechanism of the Binary Eutectic Alloy Mask Layer in Super-Resolution Near-Field Structure
基本信息
| DOI: | -- |
| 中图分类号: | O 484.4+1 |
| 栏目: | 材料与薄膜 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金(60207005,60490290)资助项目。 |
| 收稿日期: | 2006-09-05 |
| 修改稿日期: | 2006-10-20 |
| 网络出版日期: | 2007-04-25 |
| 通讯作者: | 瞿青玲 (lindaqu@siom.ac.cn) |
| 备注: | -- |
瞿青玲, 王阳, 干福熹. 超分辨近场结构中二元共晶合金掩膜的工作机制[J]. 中国激光, 2007, 34(4): 530. 瞿青玲, 王阳, 干福熹. Working Mechanism of the Binary Eutectic Alloy Mask Layer in Super-Resolution Near-Field Structure[J]. Chinese Journal of Lasers, 2007, 34(4): 530.
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