光学学报, 2014, 34 (s1): s114002, 网络出版: 2014-07-03
飞秒激光在硅表面诱导微结构
Microstrucrures on the Surface of Si Induced by Femtosecond Laser
基本信息
| DOI: | 10.3788/aos201434.s114002 |
| 中图分类号: | O437 |
| 栏目: | 激光器与激光光学 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金(61108018，61275117，61204007)、中国博士后科学基金(2012M511002)、黑龙江省高校电子工程重点实验室开放课题、黑龙江省自然科学基金(F201431) |
| 收稿日期: | 2013-09-01 |
| 修改稿日期: | 2013-10-01 |
| 网络出版日期: | 2014-07-03 |
| 通讯作者: | 王积翔 (wangjixiang@163.com) |
| 备注: | -- |
王积翔, 冉玲苓, 孔德贵, 高扬, 李彦超, 吴文智, 高亚臣, 常青. 飞秒激光在硅表面诱导微结构[J]. 光学学报, 2014, 34(s1): s114002. Wang Jixiang, Ran Lingling, Kong Degui, Gao Yang, Li Yanchao, Wu Wenzhi, Gao Yachen, Chang Qing. Microstrucrures on the Surface of Si Induced by Femtosecond Laser[J]. Acta Optica Sinica, 2014, 34(s1): s114002.
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