飞秒激光在硅表面诱导微结构

王积翔; 冉玲苓; 孔德贵; 高扬; 李彦超; 吴文智; 高亚臣; 常青

doi:doi:10.3788/aos201434.s114002

光学学报, 2014, 34 (s1): s114002, 网络出版: 2014-07-03

飞秒激光在硅表面诱导微结构

Microstrucrures on the Surface of Si Induced by Femtosecond Laser

王积翔 ^*冉玲苓孔德贵高扬李彦超吴文智高亚臣常青

作者单位

黑龙江大学电子工程学院, 黑龙江哈尔滨 150080

图 & 表

王积翔, 冉玲苓, 孔德贵, 高扬, 李彦超, 吴文智, 高亚臣, 常青. 飞秒激光在硅表面诱导微结构[J]. 光学学报, 2014, 34(s1): s114002. Wang Jixiang, Ran Lingling, Kong Degui, Gao Yang, Li Yanchao, Wu Wenzhi, Gao Yachen, Chang Qing. Microstrucrures on the Surface of Si Induced by Femtosecond Laser[J]. Acta Optica Sinica, 2014, 34(s1): s114002.