冷压印光刻中斜纹光栅对准信号计算模型

成丹; 卢秉恒; 丁玉成 王莉

光电工程, 2005, 32 (10): 93, 网络出版: 2007-11-14

冷压印光刻中斜纹光栅对准信号计算模型

Model for the calculation of slant grating alignment signals of room-temperature imprint lithography

成丹卢秉恒丁玉成王莉

作者单位

西安交通大学,机械制造系统国家重点实验室,陕西,西安,710049

图 & 表

成丹, 卢秉恒, 丁玉成王莉. 冷压印光刻中斜纹光栅对准信号计算模型[J]. 光电工程, 2005, 32(10): 93. 成丹, 卢秉恒, 丁玉成王莉. Model for the calculation of slant grating alignment signals of room-temperature imprint lithography[J]. Opto-Electronic Engineering, 2005, 32(10): 93.