30.4 nm波长处Mg基多层膜反射镜

白亮; 朱京涛; 徐敬; 黄秋实; 吴文娟; 王晓强; 王占山; 陈玲燕

doi:doi:10.3788/aos20092909.2615

光学学报, 2009, 29 (9): 2615, 网络出版: 2009-10-09

30.4 nm波长处Mg基多层膜反射镜

Multilayer Film Reflective Mirror at 30.4 nm

白亮 ^*朱京涛徐敬黄秋实吴文娟王晓强王占山陈玲燕

作者单位

同济大学精密光学工程技术研究所物理系，上海 200092

补充材料

白亮, 朱京涛, 徐敬, 黄秋实, 吴文娟, 王晓强, 王占山, 陈玲燕. 30.4 nm波长处Mg基多层膜反射镜[J]. 光学学报, 2009, 29(9): 2615. Bai Liang, Zhu Jingtao, Xu Jing, Huang Qiushi, Wu Wenjuan, Wang Xiaoqiang, Wang Zhanshan, Chen Lingyan. Multilayer Film Reflective Mirror at 30.4 nm[J]. Acta Optica Sinica, 2009, 29(9): 2615.