强激光与粒子束, 2020, 32 (5): 051001, 网络出版: 2020-04-24   

基于相机阵列的光学组件缺陷在线检测方法

Optical elements defect online detection method based on camera array
作者单位
中国科学院 光束控制重点实验室,成都 610209;中国科学院 光电技术研究所,成都 610209;中国科学院大学,北京 100049
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