基于飞秒激光加工的无膜光纤气体压力传感器下载： 1094次 | 激光与光电子学进展 -- 中国光学期刊网

激光与光电子学进展, 2019, 56 (10): 100601, 网络出版: 2019-07-04

基于飞秒激光加工的无膜光纤气体压力传感器下载： 1094次

Non-Diaphragm Fiber Gas Pressure Sensor Based on Femtosecond Laser Machining

姜源 ¹江毅 ^1,*张柳超 ¹王素梅 ²

作者单位

¹ 北京理工大学光电学院, 北京 100081

² 北京理工大学激光微纳制造研究所, 北京 100081

光纤光学压力传感器外腔式法布里-珀罗干涉仪飞秒激光加工 fiber optics pressure sensor extrinsic Fabry-Perot interferometer femtosecond laser machining

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