半导体光电, 2013, 34 (1): 74, 网络出版: 2013-03-05   

直流磁控溅射法制备本征ZnO薄膜及光伏应用研究

Photovoltaic Applications and Characterization of Un-doped ZnO Films Prepared by Direct Current Magnetron Sputtering
作者单位
四川大学 材料科学与工程学院, 成都 610064
基本信息
DOI: --
中图分类号: TM914.4
栏目: 材料、结构及工艺
项目基金: 国家“863”计划项目(2009AA05060).
收稿日期: 2012-09-28
修改稿日期: --
网络出版日期: 2013-03-05
通讯作者: 杨志军 (zj_y1003@sina.com)
备注: --

杨志军, 王波, 张静全, 冯良桓, 武莉莉, 李卫, 黎兵. 直流磁控溅射法制备本征ZnO薄膜及光伏应用研究[J]. 半导体光电, 2013, 34(1): 74. YANG Zhijun, WANG Bo, ZhANG Jingquan, FENG Lianghuan, WU Lili, LI Wei, LI Bing. Photovoltaic Applications and Characterization of Un-doped ZnO Films Prepared by Direct Current Magnetron Sputtering[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2013, 34(1): 74.

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