半导体光电, 2013, 34 (1): 74, 网络出版: 2013-03-05
直流磁控溅射法制备本征ZnO薄膜及光伏应用研究
Photovoltaic Applications and Characterization of Un-doped ZnO Films Prepared by Direct Current Magnetron Sputtering
基本信息
DOI: | -- |
中图分类号: | TM914.4 |
栏目: | 材料、结构及工艺 |
项目基金: | 国家“863”计划项目(2009AA05060). |
收稿日期: | 2012-09-28 |
修改稿日期: | -- |
网络出版日期: | 2013-03-05 |
通讯作者: | 杨志军 (zj_y1003@sina.com) |
备注: | -- |
杨志军, 王波, 张静全, 冯良桓, 武莉莉, 李卫, 黎兵. 直流磁控溅射法制备本征ZnO薄膜及光伏应用研究[J]. 半导体光电, 2013, 34(1): 74. YANG Zhijun, WANG Bo, ZhANG Jingquan, FENG Lianghuan, WU Lili, LI Wei, LI Bing. Photovoltaic Applications and Characterization of Un-doped ZnO Films Prepared by Direct Current Magnetron Sputtering[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2013, 34(1): 74.