中国激光, 1977, 4 (5): 13, 网络出版: 2012-06-25
用全息照相制造光刻掩模
摘要
Abstract
参考文献
[1] Prco. IEEE, 1968, 56, 116.
[2] Appl. Opt., 1968, 8, 967.
[3] Apph Opt., 1973, 12, 1946.
[4] Ezio Camatini, Optical & Acoustical Holograph, pp.71~109
[5] Appl. Opt., 1976, 4, 853.
华中工学院激光教研室全息小组. 用全息照相制造光刻掩模[J]. 中国激光, 1977, 4(5): 13. 华中工学院激光教研室全息小组. [J]. Chinese Journal of Lasers, 1977, 4(5): 13.
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