中国激光, 2020, 47 (3): 0301008, 网络出版: 2020-03-12   

基于悬浮波导的低功耗聚合物热光开关 下载: 1008次

Polymer Thermo-Optic Switch with Low-Power Consumption Based on Suspended Waveguide
作者单位
1 河南仕佳光子科技股份有限公司, 河南 鹤壁 458030
2 郑州大学物理学院, 河南 郑州 450001
图 & 表

图 1. 热光开关的结构示意图。(a)热光开关的俯视图;(b)悬浮波导的截面示意图

Fig. 1. Structure diagram of thermo-optic switch. (a) Top-view diagram of thermo-optic switch; (b) cross-section of the suspended waveguide

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图 2. 波导有效折射率n与波导尺寸b的关系

Fig. 2. Relations between the core thickness b and the effective refractive index n of the rectangle waveguide

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图 3. 热光开关波导结构的热场分布。(a)传统波导结构;(b)悬浮波导结构

Fig. 3. Thermal field distribution of thermo-optic switch waveguides. (a) Conventional waveguide; (b) suspended waveguide

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图 4. 热光开关波导截面的SEM照片。(a)传统波导;(b)悬浮波导

Fig. 4. SEM images of the cross-section of thermo-optic switch waveguides. (a) Conventional waveguide; (b) suspended waveguide

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图 5. 热光开关的输出光斑

Fig. 5. Output pattern of thermo-optic switch

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图 6. 不同波导结构的光开关输出光功率与驱动功率的关系曲线

Fig. 6. Output optical power of thermo-optic switches with different waveguide versus electrical heating power

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图 7. 热光开关的开关响应曲线

Fig. 7. Switch response curves of thermo-optic switch

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表 1不同结构热光开关的功耗对比

Table1. Comparison of power consumption among thermo-optic switches with different structures

ReferenceStructureWavelength /nmThickness ofupper cladding /μmPowerconsumption /mW
Ref. [9]Polymer/silica with air trench15502.53.4
This workPolymer/silica15505.013.9
Polymer/silica with suspended waveguide15505.09.3

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孙健, 吴远大, 安俊明, 吴卫锋, 单崇新. 基于悬浮波导的低功耗聚合物热光开关[J]. 中国激光, 2020, 47(3): 0301008. Sun Jian, Wu Yuanda, An Junming, Wu Weifeng, Shan Chongxin. Polymer Thermo-Optic Switch with Low-Power Consumption Based on Suspended Waveguide[J]. Chinese Journal of Lasers, 2020, 47(3): 0301008.

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