光学学报, 2012, 32 (10): 1031002, 网络出版: 2012-07-17
提高极紫外光谱纯度的多层膜设计及制备
Design and Fabrication of the Multilayer Film of Enhancing Spectral-Purity in Extreme Ultraviolet
基本信息
| DOI: | 10.3788/aos201232.1031002 |
| 中图分类号: | O484.5 |
| 栏目: | 薄膜 |
| 项目基金: | 国家重大科技专项资助课题。 |
| 收稿日期: | 2012-04-25 |
| 修改稿日期: | 2012-05-08 |
| 网络出版日期: | 2012-07-17 |
| 通讯作者: | 祝文秀 (zhuwenxiu311@126.com) |
| 备注: | -- |
祝文秀, 金春水, 匡尚奇, 喻波. 提高极紫外光谱纯度的多层膜设计及制备[J]. 光学学报, 2012, 32(10): 1031002. Zhu Wenxiu, Jin Chunshui, Kuang Shangqi, Yu Bo. Design and Fabrication of the Multilayer Film of Enhancing Spectral-Purity in Extreme Ultraviolet[J]. Acta Optica Sinica, 2012, 32(10): 1031002.
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