光学学报, 2012, 32 (10): 1031002, 网络出版: 2012-07-17   

提高极紫外光谱纯度的多层膜设计及制备

Design and Fabrication of the Multilayer Film of Enhancing Spectral-Purity in Extreme Ultraviolet
作者单位
1 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春 130022
2 中国科学院研究生院, 北京 100049
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祝文秀, 金春水, 匡尚奇, 喻波. 提高极紫外光谱纯度的多层膜设计及制备[J]. 光学学报, 2012, 32(10): 1031002. Zhu Wenxiu, Jin Chunshui, Kuang Shangqi, Yu Bo. Design and Fabrication of the Multilayer Film of Enhancing Spectral-Purity in Extreme Ultraviolet[J]. Acta Optica Sinica, 2012, 32(10): 1031002.

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