光学仪器, 2007, 29 (3): 76, 网络出版: 2008-08-12
液态源MOCVD控制系统研究
Research on control system of the liquid source MOCVD
基本信息
| DOI: | -- |
| 中图分类号: | TN304.054 |
| 栏目: | 仪器及装置 |
| 项目基金: | -- |
| 收稿日期: | 2006-08-14 |
| 修改稿日期: | -- |
| 网络出版日期: | 2008-08-12 |
| 通讯作者: | |
| 备注: | -- |
李岗, 高爱华. 液态源MOCVD控制系统研究[J]. 光学仪器, 2007, 29(3): 76. 李岗, 高爱华. Research on control system of the liquid source MOCVD[J]. Optical Instruments, 2007, 29(3): 76.
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