光学仪器, 2007, 29 (3): 76, 网络出版: 2008-08-12
液态源MOCVD控制系统研究
Research on control system of the liquid source MOCVD
摘要
金属有机物化学气相淀积(MOCVD)技术是当前研制和生产先进化合物半导体材料的最主要技术.结合液态源MOCVD设备控制系统的组成与特点,给出了液态源MOCVD控制系统,该系统采用可编程逻辑控制器和触摸屏实现了整个系统的控制和管理,取得了满意的研究结果.
Abstract
参考文献
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