大角度倾斜照明条件下的PIE迭代重建算法研究 | 光学学报 -- 中国光学期刊网

光学学报, 2020, 40 (17): 1705001, 网络出版: 2020-08-26

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Reconstruction Algorithm for Ptychographic Iterative Engine with Highly Tilted Illumination

昌成成 ^1,2,3潘兴臣 ^1,2陶华 ^1,2刘诚 ^1,2,*朱健强 ^1,2

作者单位

¹ 中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室, 上海 201800

² 中国科学院中国工程物理研究院高功率激光物理联合实验室, 上海 201800

³ 中国科学院大学, 北京 100049

衍射相干衍射成像相位测量光学传递函数 diffraction coherent diffractive imaging phase measurement optical transfer function

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