强激光与粒子束, 2007, 19 (8): 1399, 网络出版: 2008-02-18
电容器薄膜等离子体表面改性实验研究
Experimental study of plasma surface treatment on capacitor film
摘要
建立了一套辉光放电等离子体对电容器薄膜进行表面处理的装置.采用N2,O2及Ar三种气体对聚丙烯、聚酯和聚苯硫醚膜进行了表面处理.红外光谱分析表明:薄膜表面的生成物与薄膜种类、气体种类和处理强度密切相关.场扫描电镜显示了薄膜表面的刻蚀现象明显.处理过的薄膜,非晶相被去除,球晶暴露.能谱分析说明了薄膜中C元素下降,N,O元素增加,但总体改变量很小.处理前后薄膜的直流击穿电压没有明显改变,但刻蚀过程造成的薄膜表面粗化可帮助电容器的浸渍过程更充分,从而可提高电容器的使用场强与储能密度.
Abstract
戴玲, 林福昌, 尹婷, 严飞, 王磊, 韩永霞. 电容器薄膜等离子体表面改性实验研究[J]. 强激光与粒子束, 2007, 19(8): 1399. 戴玲, 林福昌, 尹婷, 严飞, 王磊, 韩永霞. Experimental study of plasma surface treatment on capacitor film[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2007, 19(8): 1399.