光学学报, 2017, 37 (6): 0631001, 网络出版: 2017-06-08   

基于量子进化算法的宽角度极紫外多层膜设计 下载: 554次

Design of Broad-Angle Extreme Ultraviolet Multilayer Coatings Based on Quantum Evolutionary Algorithm
作者单位
1 长春理工大学理学院, 吉林 长春 130022
2 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室, 吉林 长春 130033
基本信息
DOI: 10.3788/aos201737.0631001
中图分类号: O436
栏目: 薄膜
项目基金: 国家自然科学基金青年基金(61405189)、吉林省科技发展计划(20150101019JC)
收稿日期: 2016-12-23
修改稿日期: 2017-02-09
网络出版日期: 2017-06-08
通讯作者:
备注: --

张超, 张杰瑞, 王一名, 匡尚奇, 谢耀. 基于量子进化算法的宽角度极紫外多层膜设计[J]. 光学学报, 2017, 37(6): 0631001. Zhang Chao, Zhang Jierui, Wang Yiming, Kuang Shangqi, Xie Yao. Design of Broad-Angle Extreme Ultraviolet Multilayer Coatings Based on Quantum Evolutionary Algorithm[J]. Acta Optica Sinica, 2017, 37(6): 0631001.

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