基于量子进化算法的宽角度极紫外多层膜设计

张超; 张杰瑞; 王一名; 匡尚奇; 谢耀

doi:doi:10.3788/aos201737.0631001

光学学报, 2017, 37 (6): 0631001, 网络出版: 2017-06-08

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Design of Broad-Angle Extreme Ultraviolet Multilayer Coatings Based on Quantum Evolutionary Algorithm

张超 ¹张杰瑞 ¹王一名 ¹匡尚奇 ¹谢耀 ²

作者单位

¹ 长春理工大学理学院, 吉林长春 130022

² 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室, 吉林长春 130033

图 & 表

张超, 张杰瑞, 王一名, 匡尚奇, 谢耀. 基于量子进化算法的宽角度极紫外多层膜设计[J]. 光学学报, 2017, 37(6): 0631001. Zhang Chao, Zhang Jierui, Wang Yiming, Kuang Shangqi, Xie Yao. Design of Broad-Angle Extreme Ultraviolet Multilayer Coatings Based on Quantum Evolutionary Algorithm[J]. Acta Optica Sinica, 2017, 37(6): 0631001.