微加工薄膜变形镜本征模分析

李恩德; 戴云; 王海英; 张雨东

强激光与粒子束, 2006, 18 (8): 1265, 网络出版: 2007-01-11

微加工薄膜变形镜本征模分析

Eigen mode of micromachined membrane deformable mirror

李恩德 ^1,2戴云 ¹王海英 ¹张雨东 ¹

作者单位

¹ 中国科学院,光电技术研究所,成都,610209

² 中国科学院,研究生院,北京,100080

基本信息

DOI:	--
中图分类号:	O439
栏目:	高功率激光与光学
项目基金:	国家863计划项目资助课题
收稿日期:	2005-08-30
修改稿日期:	2006-03-17
网络出版日期:	2007-01-11
通讯作者:
备注:	--

李恩德, 戴云, 王海英, 张雨东. 微加工薄膜变形镜本征模分析[J]. 强激光与粒子束, 2006, 18(8): 1265. 李恩德, 戴云, 王海英, 张雨东. Eigen mode of micromachined membrane deformable mirror[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2006, 18(8): 1265.