中国激光, 2013, 40 (9): 0916002, 网络出版: 2013-08-15   

基于CMOS传感器的高速高精度激光光束自动准直系统

Fast and Accurate Laser Beam Automatic Alignment System Based on CMOS Sensor
作者单位
1 中国科学院上海光学精密机械研究所强场激光物理国家重点实验室, 上海 201800
2 中国科学院大学, 北京 100049
引用该论文

李耀, 王丁, 郭晓杨, 冷雨欣. 基于CMOS传感器的高速高精度激光光束自动准直系统[J]. 中国激光, 2013, 40(9): 0916002.

Li Yao, Wang Ding, Guo Xiaoyang, Leng Yuxin. Fast and Accurate Laser Beam Automatic Alignment System Based on CMOS Sensor[J]. Chinese Journal of Lasers, 2013, 40(9): 0916002.

引用列表
1、 极紫外光刻光源系统光束指向稳定性研究激光与光电子学进展, 2021, 58 (17): 1714004
2、 基于位置传感器的空间激光准直系统标定技术激光与光电子学进展, 2018, 55 (11): 110401
4、 基于空间光调制的光束聚焦实时反馈控制方法及系统激光与光电子学进展, 2017, 54 (7): 72201
6、 滚转角测量方法综述激光与光电子学进展, 2014, 51 (4): 40002

李耀, 王丁, 郭晓杨, 冷雨欣. 基于CMOS传感器的高速高精度激光光束自动准直系统[J]. 中国激光, 2013, 40(9): 0916002. Li Yao, Wang Ding, Guo Xiaoyang, Leng Yuxin. Fast and Accurate Laser Beam Automatic Alignment System Based on CMOS Sensor[J]. Chinese Journal of Lasers, 2013, 40(9): 0916002.

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