红外与激光工程, 2019, 48 (7): 0742003, 网络出版: 2019-08-07
脉冲激光沉积法制备红外光学SiC薄膜特性研究
Research on infrared optical properties of SiC films by pulsed laser deposition
基本信息
| DOI: | 10.3788/irla201948.0742003 |
| 中图分类号: | O484.4 |
| 栏目: | |
| 项目基金: | 国家自然科学基金(61705268) |
| 收稿日期: | 2019-02-11 |
| 修改稿日期: | -- |
| 网络出版日期: | 2019-08-07 |
| 通讯作者: | 黄国俊 (314687339@qq.com) |
| 备注: | -- |
黄国俊, 陆益敏, 程勇, 田方涛, 米朝伟, 万强. 脉冲激光沉积法制备红外光学SiC薄膜特性研究[J]. 红外与激光工程, 2019, 48(7): 0742003. Huang Guojun, Lu Yimin, Cheng Yong, Tian Fangtao, Mi Chaowei, Wan Qiang. Research on infrared optical properties of SiC films by pulsed laser deposition[J]. Infrared and Laser Engineering, 2019, 48(7): 0742003.
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