脉冲激光沉积法制备红外光学SiC薄膜特性研究

黄国俊; 陆益敏; 程勇; 田方涛; 米朝伟; 万强

doi:doi:10.3788/irla201948.0742003

红外与激光工程, 2019, 48 (7): 0742003, 网络出版: 2019-08-07

脉冲激光沉积法制备红外光学SiC薄膜特性研究

Research on infrared optical properties of SiC films by pulsed laser deposition

黄国俊 ^*陆益敏程勇田方涛米朝伟万强

作者单位

陆军工程大学光电技术研究所, 湖北武汉 430075

补充材料

黄国俊, 陆益敏, 程勇, 田方涛, 米朝伟, 万强. 脉冲激光沉积法制备红外光学SiC薄膜特性研究[J]. 红外与激光工程, 2019, 48(7): 0742003. Huang Guojun, Lu Yimin, Cheng Yong, Tian Fangtao, Mi Chaowei, Wan Qiang. Research on infrared optical properties of SiC films by pulsed laser deposition[J]. Infrared and Laser Engineering, 2019, 48(7): 0742003.