半导体光电, 2020, 41 (1): 15, 网络出版: 2020-04-13
基于有限元法的12μm微测辐射热计单元设计
Design of 12μm Microbolometer Based on Finite Element Method
基本信息
DOI: | 10.16818/j.issn1001-5868.2020.01.003 |
中图分类号: | TN215 |
栏目: | 光电器件 |
项目基金: | -- |
收稿日期: | 2019-07-26 |
修改稿日期: | -- |
网络出版日期: | 2020-04-13 |
通讯作者: | 史佳欣 (791503385@qq.com) |
备注: | -- |
史佳欣, 陈超, 王军. 基于有限元法的12μm微测辐射热计单元设计[J]. 半导体光电, 2020, 41(1): 15. SHI Jiaxin, CHEN Chao, WANG Jun. Design of 12μm Microbolometer Based on Finite Element Method[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2020, 41(1): 15.