半导体光电, 2020, 41 (1): 15, 网络出版: 2020-04-13
基于有限元法的12μm微测辐射热计单元设计
Design of 12μm Microbolometer Based on Finite Element Method
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史佳欣, 陈超, 王军. 基于有限元法的12μm微测辐射热计单元设计[J]. 半导体光电, 2020, 41(1): 15. SHI Jiaxin, CHEN Chao, WANG Jun. Design of 12μm Microbolometer Based on Finite Element Method[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2020, 41(1): 15.
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