基于像散原理的并行共聚焦探测曲线灵敏度研究

范慧敏; 刘文文

doi:doi:10.3969/j.issn.1005-5630.2011.03.015

光学仪器, 2011, 33 (3): 71, 网络出版: 2012-12-06

基于像散原理的并行共聚焦探测曲线灵敏度研究

Study on the sensitivity of detection-curve in a parallel confocal system based on the astigmatic method

范慧敏刘文文

作者单位

合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,安徽合肥230009

补充材料

范慧敏, 刘文文. 基于像散原理的并行共聚焦探测曲线灵敏度研究[J]. 光学仪器, 2011, 33(3): 71. FAN Huimin, LIU Wenwen. Study on the sensitivity of detection-curve in a parallel confocal system based on the astigmatic method[J]. Optical Instruments, 2011, 33(3): 71.