激光与光电子学进展, 2017, 54 (10): 101203, 网络出版: 2017-10-09
基于激光干涉的电容位移传感器非线性误差标定方法 
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Nonlinear Error Calibration Method for Capacitive Displacement Sensor Based on Laser Interferometry
基本信息
| DOI: | 10.3788/lop54.101203 |
| 中图分类号: | TP212.13;V439.7 |
| 栏目: | 仪器,测量与计量 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金(11602304) |
| 收稿日期: | 2017-06-11 |
| 修改稿日期: | 2017-06-26 |
| 网络出版日期: | 2017-10-09 |
| 通讯作者: | 王大鹏 (ajwzajwz@163.com) |
| 备注: | -- |
王大鹏, 金星, 周伟静, 李南雷. 基于激光干涉的电容位移传感器非线性误差标定方法[J]. 激光与光电子学进展, 2017, 54(10): 101203. Wang Dapeng, Jin Xing, Zhou Weijing, Li Nanlei. Nonlinear Error Calibration Method for Capacitive Displacement Sensor Based on Laser Interferometry[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2017, 54(10): 101203.
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