激光与光电子学进展, 1989, 26 (10): 48, 网络出版: 2013-06-21
购买激光X射线光刻分档器
摘要
美国汉普郡仪器公司最近将几台微光刻装置卖给美国电报电话公司的两个工厂，用于实验工作。该机使用钕玻璃板条激光器，产生X射线等离子体。0.08~0.2 nm的X射线通过掩模将图形刻在集成电路上。 因为X射线的波长比紫外光短，X射线光刻比普通光刻产生的电路刻线更细。激光产生等离子体可与产生X射輯的同步加速器和X射线管媲美，此种装备每套售价256万美元。
Abstract
参考文献
福厚. 购买激光X射线光刻分档器[J]. 激光与光电子学进展, 1989, 26(10): 48. 福厚. [J]. Laser & Optoelectronics Progress, 1989, 26(10): 48.
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