中科院 西安光学精密机械研究所,陕西 西安 710119
针对通过胶粘固定的口径为230 mm非球面反射镜的装调要求,选用无像差面型检测法,通过对3个关键过程,即底板与裸镜的粘接,镜框与底板的连接,光学定心加工的实验研究,提出使粘接应力及结构件传导应力变化量达到最小的微应力装校方法,并通过光学定心加工标定出非球面反射镜的光学中心。装调结果表明:对于口径为230 mm的非球面反射镜,微应力装调后面型精度≤0.02λ;光学中心偏心量≤5 μm,分划板表面与光轴垂直度误差≤2.5″。
非球面反射镜 微应力装调 胶粘 光学定心 aspheric mirror micro-stress alignment viscose calibration of optical center
1 中国科学院西安光学精密机械研究所,西安 710119
2 中国科学院研究生院,北京 100049
通过对520 mm口径RC系统进行面形波像差检测,并将其主、次镜各光学零件实际面形的干涉检测结果输入Code V软件进行了系统成像质量的波像差分析.分析结果与实际系统装调完成后的系统成像质量波像差检测结果对比,具有高度的一致性,说明在计算机辅助装调工艺中应用该仿真工具仿真度高,可以用于实际光学装调的仿真分析、指导光学装调.
光学装调 计算机辅助装调 CODE V软件 波像差检测 Optical alignment Computer aided alignment CODE V software Wavefront aberration testing