白金林 1,2姜玉刚 1,2王利栓 1,2李子杨 1,2[ ... ]苏建忠 1,2
作者单位
摘要
1 天津津航技术物理研究所 天津市薄膜光学重点实验室,天津 300308
2 光电材料智能表面织构技术联合实验室,天津 300308
光学薄膜元件的面形偏差会导致高精度激光系统中传输光束发生波前畸变,严重影响光学设备的性能。传统的面形偏差控制技术是采用双面镀膜,但需要反复抛光基片以获得高精度面形,这会大大增加研制成本,限制该方法的使用。文中基于离子束溅射沉积技术,采用薄膜应力形变模型预测镀膜后面形变化情况,然后对待镀元件的镀膜面预加工出与变形方向相反的面形,来补偿镀膜后膜层应力造成的薄膜元件变形,最后在预加工好的基片上制备超低面形的宽带高反膜,实现了在550~750 nm的工作波长下反射率R≥99.5%,面形PV≤0.15λ@632.8 nm。此项技术是通过标定薄膜材料的力学参数,预测在相同工艺条件下任意多层膜的面形变化,实现在超宽光谱设计的同时引入力学同步设计,制备出满足光、力双重指标的高质量光学薄膜。
薄膜元件面形 应力预补偿技术 宽谱段 光学加工 thin film element surface shape stress pre-compensation technology wide spectrum optical processing 
红外与激光工程
2021, 50(2): 20200413
作者单位
摘要
1 东北大学秦皇岛分校控制工程学院, 河北 秦皇岛 066004
2 燕山大学电气工程学院, 河北 秦皇岛 066004
设计了一种带有金属脊和低折射率介质夹层的新型混合表面等离子体波导结构, 利用有限元法对该结构进行了数值仿真。 COMSOL Multiphysics软件是一款基于有限元法模拟真实物理现象的仿真软件。 在COMSOL Multiphysics软件平台上, 构建该结构的三维模型, 使用模态分析和频域分析模块, 研究了其电场分布、 归一化模式面积、 传输长度、 增益阈值、 品质因数。 结果表明: 在工作波长为370 nm时, 所设计波导的光场约束可达到较好的深亚波长水平, 同时保持大的传输长度。 提出的带有金属脊结构与平坦金属层结构相比, 波导特性更好。 将该结构应用于纳米激光器, 由基模和纵模反映出, 激光器内光场分布稳定且集中在极小的面积内。 在波导特性良好的情况下, 该激光器可保持较低的增益阈值和较高的谐振腔品质因数。 综合考虑, 选取最优尺寸为r=80 nm, d=45 nm, 此时有效模式面积为0.005 1λ2, 传输长度为1 668 nm, 增益阈值为1.46×10-6 m-1, 品质因子74.5。 最后, 在最优尺寸下, 通过仿真得到了该结构的发射光谱, 其发射波长为360 nm, 输出电能比输入电能增强了3 100倍。 该结构为小型化和集成化的纳米设备提供了技术支持, 在生物医学和光通信等领域有广泛的应用前景。
表面等离子体 有限元法 波导 纳米激光器 紫外波 Surface plasmons Finite-element method Waveguides Nanolasers Ultraviolet 
光谱学与光谱分析
2018, 38(1): 15
作者单位
摘要
1 东北大学秦皇岛分校 控制工程学院, 河北 秦皇岛 066004
2 燕山大学 电气工程学院, 河北 秦皇岛 066004
设计了一种双通道表面等离子体共振光纤传感器, 分析了Au、Cu两种材料对波长调制型表面等离子体共振光纤传感器的影响, 优化了金属厚度并且选取优化后的金属厚度dAu=47 nm, dCu=53 nm进行数值仿真分析。结果表明, 金属层为金的通道比金属层为铜的通道灵敏度高,但是金属层为铜的通道比金属层为金的通道检测精度高4倍; 金属层为金的传感通道适合检测折射率较低的物质, 而金属层为铜的传感通道适合检测折射率较高的物质, 该传感器的提出扩大了单一传感器的应用范围, 并且文中提出的传感器比传统的SPR传感器检测精度高, 灵敏度和单通道传感器一样。
表面等离子体共振 光纤传感器 双通道 灵敏度 surface plasmon resonance optical fiber sensor two-channel sensitivity 
红外与激光工程
2017, 46(3): 0322002
作者单位
摘要
1 燕山大学 电气工程学院, 秦皇岛 066004
2 东北大学秦皇岛分校 控制工程学院, 秦皇岛 066004
设计了一种带有金属脊和氟化镁夹层的紫外混合表面等离子体纳米激光器。在COMSOL Multiphysics软件的基础上, 使用有限元法分析了所设计激光器结构的电场分布、模式特性、品质因数和增益阈值。结果表明: 在工作波长为390 nm的紫外波段, 通过最优参数设计, 其光场约束可达到较好的深亚波长水平, 同时保持高的品质因数、低的损耗和阈值。与平坦金属层结构相比, 在相同的参数下, 所设计的结构具有更强的光场限制能力和更强的微腔束缚能力, 有潜力使纳米设备趋于小型化和集成化。
表面等离子体 紫外波 纳米激光器 模式特性 增益阈值 品质因数 surface plasmon ultraviolet nanolaser modal properties gain threshold quality factor 
强激光与粒子束
2016, 28(11): 112006
作者单位
摘要
1 燕山大学 电气工程学院, 河北 秦皇岛 066004
2 东北大学秦皇岛分校 控制工程学院, 河北, 秦皇岛 066004
利用Au/ITO纳米复合材料设计了一种自参照表面等离子体共振传感器.该传感器产生的光谱有两个共振峰, 即共振峰1和共振峰2.共振峰1随着待测介质折射率和入射角的变化产生漂移, 而共振峰2仅随入射角的变化产生漂移, 两个共振峰相互参照, 降低了入射角偏移对测量结果的影响, 提高了测量的准确性.在纳米复合材料的4种不同体积分数下, 仿真分析了入射角、待测介质折射率和薄膜厚度变化对两个共振波长的影响.在入射角θ为80°, 且金的体积分数f为0.65, 薄膜厚度d为40 nm和45 nm, 或金的体积分数f为0.85, 薄膜厚度d为45 nm和50 nm时, 共振峰2不随待测介质折射率的变化而变化, 只有共振峰1随待测介质折射率的变化而变化, 达到自参照传感器的理想状态.
光学传感器 表面等离子体共振 纳米复合材料 自参照 Krstschmann型 Optical sensors Surface plasmon resonance Nanocomposite material Self-referenced Krstschmann 
光子学报
2016, 45(12): 1228002

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