1 杭州电子科技大学智能微传感器与微系统教育部工程研究中心, 浙江 杭州 310018
2 杭州电子科技大学电子信息学院, 浙江 杭州 310018
3 杭州电子科技大学卓越学院, 浙江 杭州 310018
4 杭州电子科技大学通信工程学院, 浙江 杭州 310018
纳米光学是光子学与纳米技术交叉产生的一个新的前沿基础方向,可以使人们在纳米尺度上操控光与物质的相互作用以及探索新的物理现象。纳米激光器是一种新型光源,有关它的研究是纳米光学领域的一个重要分支。由于其尺度特性,并且对光有着很高的限制性,近年来关于纳米激光器的研究吸引着越来越多科研工作者的注意。从激光器的微型化角度出发,综述了该领域近年来取得的一些令人鼓舞的进展。首先,对近年来成功实现的各类新型激光器及其特点进行了简述;其次,对激光器在微纳尺度出现的新物理问题进行了分析,并阐述其最新进展;最后,对纳米激光器在实现应用过程中存在的一些技术挑战进行介绍和分析。
激光光学 纳米光学 纳米激光器 微型化 物理问题 技术挑战
1 北方广微科技有限公司，北京 100089
2 昆明物理研究所，云南 昆明 650223
研制出一款640×512 高性能17 μm 非制冷氧化钒红外焦平面探测器。读出电路输入级采用镜像电路获得盲像元（Rd）和感光像元（Rs）电流差的积分电流（Iint），并能够有效抑制输入偏压噪声；同时采用逐行积分、逐列读出模式。氧化钒采用单层微桥工艺；像元桥臂间距缩至0.8 μm，以尽可能增大桥面及VOx 面积，有效提高像元响应率。器件采用高可靠性的金属真空封装。测试结果表明，器件的噪声等效温差（NETD）小于45 mK，响应率大于15 mV/K，热响应时间小于10 ms。
非制冷 红外焦平面 氧化钒 读出电路 uncooled IRFPA VOx ROIC NETD
非制冷红外焦平面探测器可以应用到红外瞄准、红外侦查、安防监控、消防搜救等多领域。论述了国产 640×512（20 μm）氧化钒非制冷红外焦平面热辐射传感器的主要设计方法及技术参数，包括 MEMS结构开发、读出电路设计、真空封装等关键技术，最终通过参数测试、车载成像验证了国产氧化钒非制冷红外探测器的性能指标可以满足民用、军用等领域的需求。
氧化钒 焦平面阵列 微机电系统 读出电路设计 VOx focal plane array（FPA） MEMS read-out circuit
1 清华大学,电子工程系,北京,100084
2 清华大学,电子工程系,?本?100084
采用传统设备结合虚拟仪器的方法,研制了一套宽可调谐取样光栅DBR(Sampled Grating DBR, SG-DBR) 激光器的波长测试控制系统.系统能自动向SG-DBR激光器提供电流扫描,同时对激光器输出的光谱数据进行采集、处理,生成SG-DBR激光器的"波长-电流"数据查询表;通过快速查找数据查询表数据,并对激光器提供相应驱动电流,准确控制SG-DBR激光器输出波长.系统数据处理采用了一种新颖的算法,利用输出光边模抑制比(SMSR) 来筛选激光器模式稳定工作点,确保数据查询表中的工作点数据均不会发生模式跳变.实验证明,本系统稳定、可靠,波长控制精度高,波长控制误差不超过±0.02nm.
可调谐激光器 波长控制 SG-DBR激光器 虚拟仪器
根据宽可调谐SG-DBR激光器的波长调谐特性,研制了一套波长控制系统.系统通过生成并调用"波长-电流"数据查询表,实现对SG-DBR激光器输出波长的调谐控制.系统设计引入了虚拟仪器和单片机技术,达到了降低设备成本、小型化系统的目的.实验证明系统波长控制精度高,波长控制误差不超过±0.02nm.
取样光栅 波长控制 数据查询表 虚拟仪器 单片机 Sampled Grating SG-DBR SG-DBR Wavelength Control Look up Table Virtual Instrument Micro Controlled Unit
