作者单位
摘要
1 河北工业大学, 天津 300130
2 南开大学光电子薄膜技术与器件研究所, 天津 300071
微晶硅(μc-Si:H)是国际公认的新一代硅基薄膜太阳能电池材料。综述了微晶硅的基本特性, 器件质量级材料的表征参量, 材料的生长技术, 微晶硅在太阳电池中的应用及其发展前景。
微晶硅 转化效率 等离子体增强化学气相沉积 太阳电池 
激光与光电子学进展
2006, 43(8): 48

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